山西氢氟酸腐蚀硅芯的原理
来源:http://shanxi.yygmhg.com/news546046.html发布时间:2018-02-28
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由于山西氢氟酸能将硅芯及横梁表面的二氧化硅和硅溶解生成氯化硅,但单纯的山西氢氟酸对硅棒的腐蚀作用极慢,又由于浓硝酸能将硅氧化膜(sio2),但氧化膜是难溶物质,既不溶于水,也不溶于硝酸,因此单纯的硝酸也不能得到对硅芯及横梁表面进行腐蚀清洗的目的。
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